技术特色

非接触非接触式加工，不引起疵病，且能有效去除光学表面残留的金属离子等污染。

亚纳米材料去除分辨率 可实现亚纳米量级材料去除分辨率，加工精度极高。

高稳定性材料去除稳定性24小时内优于2%，加工确定性好。

自由曲面加工真6轴5联动，适用于一般高次非球面和自由曲面加工。

产品优势

更低溅射污染

最新一代的离子束抛光机采用了自主研发的低污染离子源，进一步抑制离子源自身带来，的溅射污染，满足用户对污染控制的极端要求。

更低使用成本

支持进口和国产耗材替换，大幅节约使用成本。

更高生产效率

软硬件上支持一盘多片加工，无需反复抽真空，能耗小，生产率高。

更加智能化

可选远程真空操作控制和一键真空抽取功能，更加智能化简单化。